Előnyök

A legnagyobb felbontású mérés mikrométer alatti tartományban

A nagy teljesítményű, külön hűtéssel és az elektronsugár újra fokuszálásával ellátott transzmissziós targetek használatával ezek a források a mikrométer alatti tartományba eső fókuszpontméretet biztosítanak. A mikroszerkezetek, például részecskék, szálak, rétegvastagságok, mikrorepedések vagy hézagok kiértékelése így nem jelenthet problémát. Az akár 240 kV-os gyorsítófeszültséggel még a kisebb fém munkadarabok is vizsgálhatóak és mikrométeres pontossággal értékelhetők.

További előnyök

A sodródás (drift) korrekciós módszerrel a µm-es tartományban is megvalósítható térfogatfelbontás alacsony zajszint mellett.
A nyitott kialakításnak köszönhetően a sugárforrás kopó alkatrészei szükség esetén cserélhetők, így korlátlan élettartam érhető el.