Előnyök

A fényvisszaverődéstől független és nagy pontosságú topográfiai mérések

A Nano Focus Probe segítségével a munkadarab felülete 3D pontfelhőként rögzíthető, és a mikrostruktúrák mérete, alakja, pozíciója és érdessége is kiértékelhető. A szórt fény szűrése lehetővé teszi a topográfia megbízható 3D mérését még a fényvisszaverő felületek esetében is, a szubmikrométeres tartományba eső mérési hibákkal. A konfokális optikai szenzor a nagy dőlésszögű meredek oldalakon is jó eredményeket nyújt.

További előnyök

A különböző objektívek lehetővé teszik, hogy a szenzor az adott feladathoz igazodjon.
A koordinátamérőgép teljes mérési térfogatában használható, és a mérési eredmények ugyanabban a koordinátarendszerben összekapcsolhatóak.
A teljes felületet több, egymás melletti részleges pontfelhőből lehet kiszámítani szinte pontosságvesztés nélkül.